|
测量范围
|
电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：0.01～2000Ω/□(可扩展)；
电导率：0.005～1000 s/cm；
电阻：0.001～200Ω.cm；
|
|
可测晶片厚度
|
≤3mm
|
|
可测晶片直径
|
140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
|
|
恒流源
|
电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
|
|
数字电压表
|
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；性、量程自动显示；
|
|
四探针探头基本指标
|
间距：1±0.01mm；
针间缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
|
|
四探针探头应用参数
|
(见探头附带的合格证)
|
|
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行)
|
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
|
|
整机测量zui大相对误差
|
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4%
|
|
整机测量标准不确定度
|
≤4%
|
|
计算机通讯接口
|
并口
|
|
标准使用环境
|
温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无频干扰；
无强光直射；
|
