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氦质谱检漏仪产品简介: ZLS-25D/M、ZLS-25D/T型氦质谱检漏仪是种全功能氦质谱检漏仪,与我厂的扩散泵型仪器相比,采用了德莱宝的涡轮分子泵作仪器的真空机组,优化了真空系统及控制阀门的设计,显示部分采用了嵌入式工控计算机,微机系统控制。适用于线上对大批量零件的检漏(喷氦法或背压法),也可用吸枪作吸氦法检漏。 氦质谱检漏仪主要点: 1.1 微机系统控制,人机对话方式操作 1.2 7英寸触摸式液晶显示屏,大字符漏率显示, 漏率直读,四种常用漏率单位转换 1.3 自动扫描氦峰,具有图形显示和保存功能 1.4 动态清除本底 1.5 检漏过程曲线显示 1.6 检漏数据保存功能 1.7 声讯报警,报警点可程序设置 1.8 自带套辅助系统,可作喷氦法、吸氦法和背压法检漏 1.9 口涡轮分子泵 氦质谱检漏仪主要参数: 2.1 仪器zui小可检漏率:优于 5×10-12Pa·m3/s 2.2 仪器的反应时间:不大于3s 2.3 仪器质谱室允许工作的zui压强:1×10-2 Pa 2.4 仪器测试口允许工作的zui压强:1000Pa 2.5 被检件由粗抽至检漏的自动切换点(检漏点)可调范围:40~10-1Pa 主要部件配置: 3.1 涡轮分子泵 德莱宝 1台 3.2 前泵 产 1台 3.3 粗抽泵 产 1台 3.4 质谱分析室 成都仪器厂 1套 3.5 校准漏孔(带检定证书) 1支