仪器性能
			
			
				方阻测量范围:1×10-5~2×106Ω/□,小分辨率1×10-5Ω/□;
			
			
				电阻率测量范围:1×10-6~2×105Ω·cm或1×10-8~2×103Ω·m,小分辨率1×10-6Ω·cm或1×10-8Ω·m;
			
			
				探针压力:25g~250g;
			
			
				探针曲率半径:25μm~450μm
			
			
				(注:探针压力及曲率半径可根据薄膜材料性能及用户需求定制);
			
			
				测试电流分7档:1μA、10μA、100μA、1mA、10 mA、100 mA、1000 
mA;
			
			
				测试电压:(1μA~10 mA档)12~80V连续可调
			
			
				           (100mA档)    8~36V连续可调
			
			
				          (1000mA档)    8~15V连续可调;
			
			
				测量方式:手动或自动(配置测试软件);
			
			
				测量对象:导电薄膜、半导体薄膜、电力电容器铝箔、各种金属箔、银浆涂层、锂电池隔膜等各种电子薄膜;各种半导体材料的电阻率。